專業服務 – 技術服務
| 項 目 | 改 善 目 的 | 世 代 |
| Roller Bushing | 改善 Lift Pin 斷頭、傾斜角度問題 | 5 ~ 8.5G |
| Shadow Frame R角 | 改善 Chamber 氣體流場 ， | 7G |
| 調整 U%、Clean Time、Depo Time | ||
| V-Edge S/F | 改善paiticle、增加鍍膜有效區、減少膜暈區 | 5.5~8.5G |
| L/L Particle | FLAP Door 轉軸改造 ，減少摩擦 Particle | 8.5G |
| Backing Plate | 降低變形量、增强結構强度、延長使用壽命 | 6G |
| 項 目 | 改 善 目 的 | 世 代 |
| slit vavle | Second source 導入，cost down | 5-8.5G |
| Al Shadow Frame | Second source 導入，cost down | 5~8.5G |
| Dummy load chamber | Second source 導入，cost down | 6~8.5G |
| Cerimic Shadow Frame | Second source 導入，cost down | 5~11G |
| Cerimic Screw 脫落改善 | 防止screw異常脫落，影響產品良率，增加loading | 8.5G |
| restbottom 防脫落改善 | 防止restbottom異常脫落，影響產品良率，增加loading | 8.5G |
| 項 目 | 改 善 項 目 | 世 代 |
| Loadlock V/V | 提升抽氣效率 | 8.5G |
| Hot N2 加熱套 | 減少沉積 Powder ，改善 Particle | 5 ~ 8.5G |
| Chamber undocking | Chamber 漏氣 | 4.5~8.5G |
| Loadlock undocking | Loadlock 漏氣 | 4.5~6G |
| NF3 減量改造 | 減少 NF3 使用量 | 6G |
| Slit vavle zero shock | 減少 Particle 產生 | 6~8.5G |
| 設 備 | 作 業 內 容 | 世 代 |
| CVD | 拆裝、調試、Service (AKT) | 3.5~8.5G |
| PVD | 拆裝、調試、Service (AKT) | 6G |
| ILD | 拆裝、調試、Service (AKT) | 6~8.5G |
| DRY | 拆裝、調試、Service (TEL) | 4.5G |
| PH | 拆裝、調試、Service (TEL) | 4.5G |
| Exposure | 拆裝、調試、Service (Nikon) | 4.5G |
