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利用陶瓷本身形成之耐高溫特性,再加上物質氣化原理,將加工時或使用過程中之附著物質,通過物理氣化達到清潔之目的。好處 – 氧化鋁陶瓷於高溫清潔過程中,亦可因高溫製程消除部份氧化鋁陶瓷因加工或使用後所產生之內應力,降低因內應力所造成之形變。